中南大學團隊研制出偏振、諧振腔等光場調控Micro-LEDs

　　Micro-LED是(shi)(shi)一(yi)種由微米(mi)級LED發光(guang)像(xiang)素組成的陣列顯示技術，具(ju)有(you)自發光(guang)、高分辨率(lv)、高亮度、高效率(lv)、高對比度、低(di)功耗、高穩定性、長壽命等優點，被認為是(shi)(shi)革命性的新型顯示技術。對Micro-LEDs發散角、出光(guang)方(fang)向、偏振等出光(guang)特性進行(xing)調(diao)控，將在3D Micro-LED和(he)AR顯示等有(you)重要(yao)應用。

　　中南(nan)大(da)學汪煉成聯合中科(ke)院半(ban)導體研(yan)究(jiu)(jiu)所(suo)、湖南(nan)大(da)學團隊(dui)等近年一直致力原位集成超表面(mian)光場調控Micro-LED器件研(yan)究(jiu)(jiu)。

　　11月19-21日，其相關成果在蘇州舉行的第十屆國際第三代半導體論壇(IFWS 2024)上報道：通過鍵合、CMP等工藝，首次提出并實現垂直結構F-P諧振腔Mini/Micro-LED器件 ，光譜半高寬從常規24nm減小到15nm，發光方向性提高16.4%【Applied Physics Letters 121.20(2022)】； 通過原位集成亞波長金屬光柵，首次報道線偏振Micro-LED ，TM/TE=6.2倍，等效消光比為14dB,并通過沉積介質膜和反射鏡側壁工程，進一步提高偏振比【Applied Physics Letters 122.11(2023);Applied Physics Letters 124.11(2024)】;首次提出圓偏振Micro-LED ，橫電波反射率超過80%，消光比達到38 dB以上【Optics Letters 46.11 (2021): 2666-2669】;首次設計報道指向發光Micro-LED ，實現高效(xiao)率寬角度(du)范圍(wei)指(zhi)向(xiang)出(chu)(chu)光(guang)(guang)，以及任(ren)意角度(du)出(chu)(chu)光(guang)(guang)和雙角度(du)指(zhi)向(xiang)出(chu)(chu)光(guang)(guang)【Optics Letters 46.14 (2021): 3476-3479】。

圖(tu)1：光(guang)場調控Micro-LED示意(yi)圖(tu)

（a）線偏振Micro-LED；（b）圓偏振Micro-LED；

（c）諧振(zhen)腔Micro-LED；（d）指向發(fa)光(guang)Micro-LED；